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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品圖片
3660系列-通用型氣體質(zhì)量流量控制器

日本KOFLOC
3660系列質(zhì)量流量控制器

 

3660系列設(shè)計(jì)精密,成本較低。廣泛用于各個(gè)不同的領(lǐng)域

從實(shí)驗(yàn)室和研究開發(fā)項(xiàng)目 到各種儀器設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)采用機(jī)種

發(fā)揮了很好的實(shí)際效果,另外還有有各種衍生功能科選

目前上海建立維修售后中心,更快速度解決售后問題

氣體質(zhì)量流量控制器、質(zhì)量流量控制器、氣體流量控制器

氣體質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)、氣體流量計(jì)


性能參數(shù)

3660.jpg


3660

3665

量程(N2)

10SCCM-20SLPM

30-200SLPM

精度

±1.0%FS

±1.5%FS

有效范圍

2-100%

5-100%

重復(fù)性

±0.5%FS

響應(yīng)時(shí)間

2秒

3秒

動(dòng)作壓差

50-300Kpa

150-300Kpa

另有低壓差、高壓差產(chǎn)品可選,來電咨詢

耐壓

1.0Mpa

泄漏率

1*10-8pa·m3/s以下

溫度范圍

5-45

濕度范圍

10-90%RH(不能結(jié)露)

材質(zhì)

本體SUS316、SUS316L、磁性材料等

密封圈VITON,選配NBR或FKM

電氣接口

DB9

模擬信號(hào)

0-5V輸入/輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)250mA;

管路連接

標(biāo)配1/4F9

標(biāo)配3/8F9

選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4

選配1/2F9、3/8UJR、RC3/8

重量

約1000g

約1500g


電氣連接

針腳/顏色

定義

1針腳/棕色

閥門全開/全閉

2針腳/白色

0-5V輸出

3針腳/紅色

+15VDC

4針腳/黑色

電源COM

5針腳/黃色

-15VDC

6針腳/灰色

0-5V輸入

7針腳/綠色

輸出COM

8針腳/蘭色

輸入COM

9針腳/紫色

閥門電源輸出


使用注明

一:進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二:用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí),只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

三:在使用質(zhì)量流量控制器的時(shí)候,進(jìn)口前方加“ON/OFF電磁閥或手動(dòng)切斷閥”。

四:安裝前,請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

五:通氣體時(shí),請(qǐng)先開氣源,后設(shè)定值。

六:切勿在沒有通氣的情況下,對(duì)流量控制器進(jìn)行設(shè)定a。

七:使用完以后,請(qǐng)將流量控制器值歸零或斷電。

八:需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候,確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下、設(shè)定值是0的狀態(tài) 再操作。