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總覽質(zhì)量流量控制器

模擬量數(shù)字式

LKF5系列-耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器

美國(guó)ALICAT
LKF5系列質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕

Alicat的LKF5系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可精確、快速控制

腐蝕性氣體(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的質(zhì)量

流量、體積流量、壓力和溫度。LKF5系列質(zhì)量流量控制器

通過(guò)定制化的高速比例控制閥還可精確控制腐蝕性過(guò)程

氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。

更適用于液體氣化后的流量控制。

如：氨水、硅油氣化后，限度允許氣體濕度195%。

性能參數(shù)

性能/參數(shù)	LKF5系列質(zhì)量流量控制器
流量范圍	0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等
標(biāo)定氣體	內(nèi)置130條氣體可選擇，含腐蝕氣體
精度(調(diào)零后)	±(0.8%Rd+0.2%FS)
高精度(調(diào)零后)	±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM
重復(fù)性	±0.2%FS
漂移(零點(diǎn)/滿(mǎn)量程)	0.02% F.S/oC/Atm
工作范圍	0.5-100%
響應(yīng)時(shí)間	100毫秒(調(diào)整)
啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間	1秒內(nèi)
標(biāo)準(zhǔn)工況	25oC & 14.696 psia，可自定義修改
工作溫度范圍	-10~-50℃(另有高溫訂制品)
工作濕度范圍	0-95%RH(非冷凝)
工作壓力	不超過(guò)10Bar
安裝方向	任意
閥門(mén)狀態(tài)	常閉
材質(zhì)	SUS316L不銹鋼(傳感器)、密封圈FFKM(Kalrez)
顯示屏	背光LCD顯示屏，同時(shí)顯示流量、壓力、溫度
數(shù)字信號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)RS232 選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)
模擬信號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA
第二路模擬信號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA
電氣接口	標(biāo)準(zhǔn)圓形8芯選配:圓形6芯、DB9、DB15
供電電壓	+24VDC
消耗電流	20SLPM以?xún)?nèi)：250mA 50SLPM以?xún)?nèi)：750mA

電氣連接

針腳/顏色	定義
1針(黑色)	4-20MA輸出信號(hào)，如選擇0-5V/10V 連接6針
2針(棕色)	不用連接,如選第二路輸出信號(hào)可接
3針(紅色)	RS232 輸入串口RS232 輸入串口
4針(橘色)	模擬設(shè)定信號(hào)(訂貨時(shí)確認(rèn)信號(hào)類(lèi)型)
5針(黃色)	RS232 輸出串口
6針(綠色)	0-5V或0-10V輸出信號(hào)
7針(藍(lán)色)	+24VDC供電
8針(紫色)	接地(同時(shí)作用于電源、通訊、模擬)

備注：以上是標(biāo)配圓新8芯接線注解，其他接口來(lái)電咨詢(xún)

壓損、管路接口

流量	壓損(PSID),排放大氣中	接口
0.5-50SCCM	1.0	1/8NPT母螺紋
100-500SCCM	1.0
1SLPM	1.5
2SLPM	3.0
5SLPM	2.0
10SLPM	5.5
20SLPM	20.0
50SLPM	2.0	1/4NPT母螺紋
100SLPM	3.2	1/4NPT母螺紋
250SLPM	2.4	1/2NPT母螺紋
500SLPM	6.5	3/4NPT母螺紋
1000SLPM	14.0
1500SLPM	17.0
2000SLPM	28.6
3000SLPM	16.8	1-1/4NPT母螺紋
5000SLPM	14.1	1-1/2NPT母螺紋